零件的輪廓在電腦屏幕上勾勒出一道黃色圓環(huán)，環(huán)內(nèi)均勻分布著數(shù)百個代表小孔的綠色圓點(diǎn)，顯微探針捕捉到的環(huán)與點(diǎn)構(gòu)成的圖像好似一座曼陀羅壇城。屏幕前的張慧仔細(xì)篩查著每一項(xiàng)參數(shù)，零件里任何一枚顆粒的“脫軌”都有可能導(dǎo)致半導(dǎo)體生產(chǎn)過程當(dāng)中整個結(jié)構(gòu)的“坍塌”。

張慧是北京亦盛精密半導(dǎo)體公司總經(jīng)理，自從2018年來到這家公司，她面臨的主要挑戰(zhàn)之一就是雕琢好這塊小孔密布的盤狀硅電極零件。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，四氟化碳等蝕刻氣體通過硅電極上的小孔進(jìn)入生產(chǎn)腔，對晶圓發(fā)生作用。這個過程對硅電極的平滑和潔凈要求極高，在很長時間內(nèi)，中國都不具備生產(chǎn)合格硅電極的能力，只能依賴進(jìn)口產(chǎn)品。

2010年從學(xué)校畢業(yè)后，張慧進(jìn)入一家微電子裝備制造公司工作。在8年的工作經(jīng)歷當(dāng)中，張慧對零部件“卡脖子”問題產(chǎn)生了深刻體會。半導(dǎo)體生產(chǎn)是一項(xiàng)極其復(fù)雜的工藝，涉及幾千種形形色色的零部件。這些零件有的是耐用品，有的是消耗品。其中硅電極零件就是一種消耗品，但這種“耗材”的技術(shù)含量很高，同時發(fā)揮著不可或缺的關(guān)鍵作用。張慧有時把半導(dǎo)體生產(chǎn)線比喻成打印機(jī)，即如果只有機(jī)器整體，卻沒有硒鼓、墨盒這些消耗品，打印機(jī)也無法使用。因此，只有把每一枚看似不起眼的小零件打磨到極致，整個生產(chǎn)線才能順暢運(yùn)轉(zhuǎn)。

懷著這樣的認(rèn)知和抱負(fù)，張慧在2018年加入北京亦盛，負(fù)責(zé)整體督導(dǎo)該公司承接的國家科技重大專項(xiàng)，項(xiàng)目內(nèi)容是關(guān)鍵零部件的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。經(jīng)歷9個月攻關(guān)，張慧及其團(tuán)隊(duì)終于研發(fā)出了合格的硅電極。硅電極原理機(jī)的研發(fā)克服了兩個環(huán)節(jié)的難題，首先是如何打孔，爾后是如何確保其穩(wěn)定和潔凈，這兩個難題解決背后是數(shù)千次物理和化學(xué)實(shí)驗(yàn)。原理機(jī)研發(fā)成功之后，產(chǎn)業(yè)化又成了新的挑戰(zhàn)。為此，張慧從合作企業(yè)處獲取反饋，又在實(shí)驗(yàn)當(dāng)中不斷改進(jìn)硅電極零件。

“我們研發(fā)的是零件、耗材，但這項(xiàng)工作的‘含金量’并不低。集成電路生產(chǎn)涉及的技術(shù)領(lǐng)域太多了，沒有哪個人或者企業(yè)能夠全部掌握。每一道工序都是很重要的，任何一個細(xì)節(jié)不過關(guān)，都可能導(dǎo)致整個鏈條無法打通?！睆埢劭偨Y(jié)說。

“我們也希望有更多年輕人才加入到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、加入到實(shí)體制造中來?！绷慵m小，卻包含著整個乾坤，顯微鏡內(nèi)外都有廣闊的世界。回首已經(jīng)走過的道路，看看正在發(fā)生的將來，張慧說，這樣的青春是值得的。